ターボ分子ポンプに窒素パージが必要な理由

ターボ分子ポンプの原理を少し勉強しましたが、窒素パージがどのように作用し、なぜ必要なのかわかりません。なるべく平易な表現で、ご教授いただきたくお願い致します。

No.1 回答者： garakabu12 回答日時： 2019/05/10 17:17

いかなでもTMPでも、RP側からの油蒸気の侵入が否めないため、

TMP停止時にTMP吸気側からN2を導入し、真空装置内への油蒸気の
侵入を低減するためですね。

この回答へのお礼

ありがとうございます。

根本的な質問なのですが、ポンプ停止時に流れるものなのですか？　私が使っているものは、ポンプ作動時にパージが行われているようなのですが。ちゃんと答えられる人がいなくて困っています。

ポンプ停止状態から起動して、ターボ回転数が設定値に達するとパージが始まるようです。流量は30mL/min程度です。どういう動作原理で動いているのか理解できないでいます。よろしくお願いします。

お礼日時：2019/05/10 17:31