No.1ベストアンサー
- 回答日時:
Webでざっくり探してみたのですが、英語のWiki
http://en.wikipedia.org/wiki/Chemical_vapor_depo …
が、ちょっと入門ぽくまとめてありました。
PE-CVDについては今ひとつこれといったものは少ないみたいですが、
http://www.oit.ac.jp/www-ee/server/aplab/res/pp. …
あたりでまずはプラズマプロセスについての予備知識を得てみては?
プラズマCVDは、一般的に、Plasma Enhanced CVD (PE-CVD or PCVD)と表記されることが多いですよ。これらで丹念にぐぐってみれば、入門的な情報は得られると思いますよ。それ以上については、専門書と文献にあたることが必要です。
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