No.1
- 回答日時:
レジストの入射光と、レジスト底面での反射光が干渉を起こし、
レジストの厚さ方向に、強く露光される部分と弱く露光される部分
ができてしまいます。その結果、現像後、レジストの側面が波打って
しまいます。それを防止するためのものです。
BはBottomのBだったような気がします。
以上
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