No.1ベストアンサー
- 回答日時:
こんばんは。
半導体関連の元・開発技術者です。
BARCは、フォトレジストの下に反射防止のために設けられた層のことです。
たとえば、配線用の金属層としてアルミを使うとき、アルミは反射が激しいため、ハレーション(光のにじみ)により、露光・現像後のレジストパターンを思ったとおりにすることが難しいです。
そこで、アルミとフォトレジストとの間に、薄い反射防止層(=BARC)をコーティングしておけば、露光・現像後のパターンの精度が向上します。
DBARD、すなわち、現像可能なBARCとは、
現像時にフォトレジストと一体で熔けてくれるBARCのことでしょう。おそらく。
CD(Critical Dimension)の dimension は、サイズのことですから、
要は、
「このサイズより小さいのはダメ、大きいのはOK」
または
「このサイズより小さいのはOK、大きいのはダメ」
ということです。
この分野に限らず、多方面で使われる言葉だと思いますし、文脈もわかりませんので断言はできませんが、
フォトレジストパターンを正常にできる、ぎりぎりの大きさということなのでしょう。
資料の中の文章を勝手に推測しますと、
BARCを使うことによりCDが小さくなり(=良くなり)、DBARCだと、さらに小さくなる(=良くなる)、
というような文章ではありませんか?
>>>専門的な呼び方がありますか?
業界の人間は、ほとんど、頭文字での略称のまんまで使いますから、
特に和訳はなくて良いと思いますが、
私がこの関係の仕事をしていた頃は、BARCのことを「反射防止膜」と呼ぶこともありました。
BARCのわかりやすい説明図が載っているサイトを見つけました。
http://www1.ocn.ne.jp/~raichi/test/raichi/tpl/tp …
詳しく説明して頂きましてありがとうございました。
勉強をし始めたばかりで専門用語が分からなくて困っていました。
とてもよく分かりました。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- その他(法律) 介護支援専門員研修(ケアマネ研修)において、講師が本題と全く関係のないことを発すること 2 2023/06/24 22:15
- 英語 「to不定詞」ではなく、「前置詞 to+名詞」しかとらない表現の規則性あるいは感覚について 1 2023/06/01 18:02
- TOEFL・TOEIC・英語検定 英語の「譲歩」って一言でいうとどういう意味ですか? 3 2022/11/01 17:22
- 専門学校 夢を諦めた反面これでよかったとおもう自分がいます。 21女です。 専門学校に通っており全く関係ない一 3 2022/10/27 18:48
- 食べ物・食材 料理の食べ比べしても、先に食べた方を美味しく感じやすいですか? ラーメンなど 3 2022/05/10 18:53
- 英語 「名詞+s」で人物のあだ名? 1 2022/10/18 15:39
- 英語 Therefore, in just over half the cases, this surgi 4 2022/05/23 00:58
- 外国株 (フィッシャーの超成長株投資) ご存じ バフェット様の大師匠の 一人、実はバフェット様の師匠の グレ 1 2023/04/14 17:14
- 副業・複業 『Webライター』になりたいです。 まずブログSNS副業に興味関心がありました。 そして大きな目標と 14 2023/06/16 14:01
- 日本語 意味とは何か? どこにあるのか?(Ⅱ) 4 2022/04/21 13:35
このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています
-
プロが教えるわが家の防犯対策術!
ホームセキュリティのプロが、家庭の防犯対策を真剣に考える 2組のご夫婦へ実際の防犯対策術をご紹介!どうすれば家と家族を守れるのかを教えます!
-
半導体のリソグラフィ工程のBARCとは?
化学
-
半導体製造プロセスの「洗浄 DIW」ってなに
物理学
-
なぜSiプロセスではポリシリコンゲートを用いるのか
物理学
-
-
4
MOSトランジスターのゲートはなぜPolyなのですか?
物理学
-
5
シリコンウェハの結晶方位
物理学
-
6
化合物半導体の用語で『リセス』の意味を教えて下さい。
化学
-
7
(1800×900)と書いてあったら、どっちが縦で、どっちが横?
その他(教育・科学・学問)
-
8
アモルファスカーボンって
化学
-
9
HF(フッ酸)に反応しない金属ってありますか?
化学
-
10
応力と凸凹
物理学
-
11
MOS-FETの材料について
物理学
-
12
シリコン基板をカットしたいのですが,何を使ってカットすれば良いのでしょ
化学
-
13
ポリシリコン抵抗について。 ポリシリコン抵抗の中には、温度によらず抵抗値が変化しない温特フラット?と
工学
おすすめ情報
このQ&Aを見た人がよく見るQ&A
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
夜、街灯や信号機を見ると光が...
-
半導体関連のBARCの意味
-
虹はいろいろな国の言葉でなん...
-
小脳と中脳の、姿勢の保持みた...
-
全天空照度
-
光を反射する魚が多い訳
-
鏡のない時代はどうやって身支...
-
鏡をイメージすると、銀色なの...
-
改札の虹を鳴らす際の許可の取り方
-
理科の全反射の問題です コップ...
-
鏡のなかの鏡
-
電球を鏡に映すと明かりは2倍?
-
近視が鏡を見て遠くがぼやける...
-
酸っぱいものを食べるとなぜ震...
-
人の目で見えない物質を作るこ...
-
自然の太陽光のもとでは
-
星空を見てたら縦一列にイモム...
-
ラムゼイハント症候群で角膜反...
-
虹のなぞ、どなたかお願いします。
-
硝酸銀の電気分解、銀の析出
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
夜、街灯や信号機を見ると光が...
-
自然の太陽光のもとでは
-
レーザー兵器は鏡で反射できな...
-
ハンガー反射というのが気にな...
-
【鏡に映る自分の姿は実像です...
-
液晶モニターとレーザーポインター
-
理科の全反射の問題です コップ...
-
酸っぱいものを食べるとなぜ震...
-
鏡のない時代はどうやって身支...
-
電球を鏡に映すと明かりは2倍?
-
風水八卦鏡について、教えてく...
-
近視が鏡を見て遠くがぼやける...
-
反射した太陽光って暖かいの?
-
眼鏡は何故「鏡」なのか
-
光を反射する魚が多い訳
-
虹はいろいろな国の言葉でなん...
-
全天空照度
-
半導体のリソグラフィ工程のBAR...
-
鏡をイメージすると、銀色なの...
-
なぜ水は氷になると光を多く反...
おすすめ情報