No.1ベストアンサー
- 回答日時:
装置メーカーのサイトで紹介しているようです。
東京エレクトロン、大日本スクリーンのサイトは
どうでしょうか?
半導体製造プロセス
http://www.tel.com/jpn/product/spe/spe.htm
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製造プロセス
半導体入門
http://www.screen.co.jp/eed/lsi/eed_lsi.html
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