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No.1ベストアンサー
- 回答日時:
正確な原図を作って(この場合には熱膨張などを避けるために石英基板上とかに正確な間隔で物差しを打ちます)透明なガラス上に黒の目盛が打ちこまれています)これを顕微鏡の逆の様にに、小さく縮尺して投影して光に感じる樹脂を塗ったミクロメータ基板に投射します。
縮尺も正確にやります。樹脂が溶けたあいた穴にHFを漬ければガラスは溶けて白く濁り目盛が刻まれます。正確な原図→正確な縮尺=縮小投影→レジストパターニング→着色あるいは蝕刻です。
この回答へのお礼
お礼日時:2006/05/20 18:31
インターネットでササッとは調べたのですが、うまくみつからず、このQ&Aにお願いしました。なるほど・・・納得です。ありがとうございました。
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