薄膜作製の際の、石英基盤の代用について

ゾルゲル法で薄膜を作製したいのですが、ゾル液をスピンコーティングした後、500度くらいで焼結させ、さらに還元する予定なので、900℃くらいで燃やすつもりです。当然、ゾル液を何らかの基盤（石英基盤）に載せて行う予定です。しかし、石英基盤って非常に高いです。先輩に話しを聞くと、1枚1万円くらいするそうです。研究室の予算はあまりありませんので、何度も何度もトライすることはできません。

高温にも耐えられて、200～800nmくらいまでの波長の透過率が石英基盤並に高い、ようするに、石英基盤の代用として十分成り立つような、もっと安い基盤はないでしょうか？

かなり切羽詰っておりまして、何卒よろしくお願いいたします！
m(_ _)m

No.2 ベストアンサー 回答者： TEOS 回答日時： 2007/10/30 23:20

パイレックスで、９００℃に耐えるものが有るのか、　イワキガラスで

聞いてみた方が良いです。　この会社の登録商標のはずだから。
理化学用ガラスメーカーは、ここからガラスの購入するはず。
私の取引先も、石英ガラスはどこかで購入して加工してます。

ゾルゲル法で思い出したけど、ＴＥＯＳ（正珪酸エチル）をエタノール
水溶液で加水分解して、得た多孔質ゲルを焼成、固結させてことで
石英ガラスが出来ると記載が有りました。
私もトリエトキシシランを、エタノール水溶液で加水分解して、
ゲル物質を作ったことが有りますけど、処方が難しい。
処方が極秘で、公開されてない。　私もゲル物質が出来た時に、
マッフル炉で焼いてみれば良かったな。
（純度が９９％以上の試薬は手に入りにくい　高額）
ＴＥＯＳは安いけど。
一度、作ってみてください。一番安価ではないの？？？
あなたの実験の石英ガラスは、洗浄して再利用できるの？？

それではまたね！！

この回答へのお礼

＞ゾルゲル法で思い出したけど、ＴＥＯＳ（正珪酸エチル）をエタノール
水溶液で加水分解して、得た多孔質ゲルを焼成、固結させてことで
石英ガラスが出来ると記載が有りました。

このような方法があるのですね。しかし私は素人同然ですので、100％作製不可能です。

イワキガラスにもコンタクトを取ろうと思います。
お忙しい中、回答していただき、ありがとうございます。m(_ _)m

お礼日時：2007/11/03 05:35

No.1 回答者： ginlime 回答日時： 2007/10/30 21:32

URLの耐熱ガラスのパイレックスはどうでしょうか。

また、基板にする場合に表面を研磨する必要があればさらに研磨代金が高くなると思います。URLにも出ているような液晶やプラズマディスプレイ用のガラス基板も候補にはなると思います。理化学硝子屋さんに相談してみると良いと思います。

参考URL：http://wpedia.search.goo.ne.jp/search/%C2%D1%C7% …

この回答へのお礼

ありがとうございました。

早速、その会社へコンタクトを取ろうと思います。
本当に助かります。ありがとうございます。

お礼日時：2007/11/03 05:33