
A 回答 (2件)
- 最新から表示
- 回答順に表示
No.2
- 回答日時:
ドライエッチは複雑な現象なので,質問の情報だけでは答えることが難しいのですが,一般論的な話をします。
圧力が高いとプラズマ密度が高くなりますが,カソード側のイオンシースのできる位置がカソード面から離れることにより,被エッチング膜へ入射するイオンのエネルギーが小さくなってしまいます。
一般的にSiO2などの膜は純粋なラジカル反応だけではエッチングができず,ある程度の運動エネルギーを伴うスパッタ作用が必要とされています。圧力を下げるとエッチングレートが高くなるのはこれを示しています。
一方SiやSiNはFのラジカル反応だけでもエッチングが進むので,比較的圧力が高くても高いエッチングレートを保つはずです。
なおシリコン系の膜はすべて
FラジカルによるSiF4(沸点-94.8℃)が形成されて揮発することによる反応がエッチングの主たる反応です。Oや,Nはもともと室温近傍では気体ですから,Siから切り離されてしまうと,固相にいることはできません。
この回答へのお礼
お礼日時:2007/12/08 23:56
ご回答ありがとうございました。とても参考になりました。
均一性がよくなることについても面内の圧力勾配を考えると説明がつくような気がします。
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
似たような質問が見つかりました
- 歯科衛生士・歯科助手 歯科医師、歯科衛生士の方に質問です。 CRのエッチングについてです。 目薬ぐらいの大きさのピンクのエ 1 2022/11/24 18:49
- 数学 2つの投資資産、合計すればレートはいくらになる? 4 2022/05/08 17:32
- 化学 窒素の還元反応(アンモニアの合成反応)は可逆反応であり、ルシャトリエの法則に従った場合、次の事実を説 2 2023/06/16 12:56
- その他(アニメ・マンガ・特撮) Twitter取引について 1 2022/08/24 11:35
- バッテリー・充電器・電池 小型シール鉛蓄電池の放電後の電池電圧について教えてください。 5 2022/09/08 10:10
- 糖尿病・高血圧・成人病 月並みですが、血圧を下げるよい方法はありますか 8 2022/09/27 12:38
- その他(社会科学) 階級制度が必要だと本気で思っています。 12 2023/06/26 02:14
- 工学 【プラズマ ラングミュアプローブ】 プラズマ測定に詳しい方がいれば教えていただけると嬉しいです。 プ 1 2023/05/19 13:26
- その他(ビジネス・キャリア) 何故”実年齢相応の実績”が会社で求められるのでしょうか。 3 2022/06/24 10:51
- いじめ・人間関係 音ゲー下手な人が音ゲーに関する情報や知識で遊んだらよくないのはなぜですか? またトップ層に到達するた 0 2023/08/22 01:10
おすすめ情報
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
分岐や距離によって流体の圧力...
-
Pa・m3/sとはどういう解釈をす...
-
「流速が上がると圧力が下がる...
-
一般水道の水圧
-
真空の数値には-(マイナス)表...
-
給水量と蒸発量について
-
ボイルシャルルの法則 窒素ガ...
-
窒素ガス圧の計算について。
-
水の圧力と温度の関係について...
-
密閉回路の温度上昇と圧力の関係
-
通っている大学の教授が、権威...
-
自由研究でサイフォンの実験・...
-
水圧と空気圧について
-
ガス配管径の選定方法
-
U字管マノメーターについて質問...
-
圧力の考え方 圧力の考える際に...
-
圧力の実感
-
水の蒸発熱(潜熱)に圧力依存...
-
断面積を2倍にすると流量は?
-
水の膨張 水を凍らした時の膨...
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
おすすめ情報