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No.1ベストアンサー
- 回答日時:
特に、裏技のようなものはなく、
A.Focusを合わせて、像質をベストにする
B.スチグマ(X、Y)を合わせて像質をベストにする。
C.もうちょっと倍率を上げる。
D.Aに戻る、
ってな具合でやるしかないです。
この時、多少の注意事項は、
・高倍にしても、細かい像の特徴が分かる視野を選ぶ。のっぺらぼうでは、調整が難しいです。
・FIBでは、試料が削れてしまうので特にそうですが、SEMでもある程度汚れますので、このような作業は、目的の視野とは、別の部分で行う。
といったところでしょうか。
ありがちな誤操作としては、非点が大きいとき、いかにも非点がいるなぁ、
と思えるFocus状態(上述のAのようになるべく正焦点ではなく)にして、
Bの操作を試みる、といったことでしょうか。
これでもできなくは無いのですが、意に反して調整は少し、難しくなります。
この回答へのお礼
お礼日時:2003/06/13 14:34
ご回答ありがとうございます。
FIBでは高倍にするほど試料が削れてしまうので、あせって行ってしまいます。試料台などでゆっくりとA~Dの手順をやってみます。
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