(真空)可燃性ガス、シランについて(虫食い)

可燃性ガス、シランがプロセス室へ1.8sLm流れる様にＭＦＣにて調整。シランガスボンベの容積180L,残圧は10気圧(ゲージ圧)で、これは絶対圧で((1))気圧である。
可燃性ガスのボンベ圧力を大気圧以下にするのは安全上許されないとするとシランはおよそ((2))分間、供給できる。供給系におけるガスの温度は同じであると考える。
(1)と(2)で正しい組み合わせはどれか?

(1)
a. 10
b. 11
c. 10
d. 11

(2)
a. 1100
b. 1000
c. 1000
d. 1100

No.1 ベストアンサー 回答者： gohtraw 回答日時： 2014/02/13 08:13

SLMというのはstandard　litter　per　minuite　のことでしょうね。

多分。
１．８SLMは標準状態のガスが１分間に１．８L流れるということです。

（１）ゲージ圧は大気圧をゼロとした時の圧力ですから、これを絶対圧に直すには
１気圧を足せばいいことになります。

（２）MFCの流量がstandard（標準状態）で与えられていて、実際の温度が判らない
ので厳密な計算は無理ですが、実際も０℃という仮定で進めると、
１８０Lの容器にゲージ圧１０気圧でガスが充てんされているので、ガスの量は
（標準状態として）１８００　ノルマルLです。容器を大気圧以下にしてはいけないので、
上記で絶対圧に直したときに足した１気圧分は容器中に残しておかねば
なりません（つまり使えません）。よってガスが使える時間は
１８００／１．８＝１０００
で約１０００分となります。

この回答へのお礼

分かり易い説明ありがとうございます

お礼日時：2014/02/13 09:34