製膜時間について

プラズマＣＶＤ法についてですが、

原材料　モノシランＳｉＨ４：１００％で、
プラズマＣＶＤ法により、カバーガラス上に製膜しています。
そこで、現在製膜時間は４時間でやっていますが、
４時間もやる必要があるのかと思い、
３時間でもいいのでは考えております。
どうでしょうか？
化学のことよくわからないので、
アドバイスよろしくお願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： doc_sunday 回答日時： 2006/04/26 00:43

>４時間もやる必要があるのかと思い、３時間でもいいのでは考えております。

これだけでは誰も何のご助言も出来ないと思います。
まず、何に使うのか、どれ程の厚味を必要としているのか、厚さや表面状態の測定のための分析機器を持っているのか、現在の方法で満足な製品(?)が得られているのか、どうなのでしょうか？？？？
もし、四時間で「充分良好な製品」が出来るが、時間を短縮したい、というなら、それを判断できるのはinoueinoue様だけなので、実際やってみて比較するしか方法は無いのではないでしょうか？
m(_ _)m

この回答へのお礼

ありがとうございます。
言葉足らずで申し訳ありませんでした。
また、新たに何の測定か詳しく明記して質問させていただきます。

お礼日時：2006/04/30 03:00