フォトレジストって何ですか？

化学メーカーの営業マンです。
最近「フォトレジスト」という言葉を耳にしますが、「フォトレジスト」とはどういったことなのでしょうか？抽象的な質問で申し分けないのですが、教えてください。

No.1 ベストアンサー 回答者： Hiyuki 回答日時： 2003/06/08 11:36

http://www.tok.co.jp/ir/ir_faq-j.htm
http://www.honshuchemical.co.jp/product/
http://www.webjob.co.jp/k_syosai.asp?juchuno=879
この辺をどうぞ。

この回答へのお礼

ありがとうございました。
とても参考になりました。

お礼日時：2003/07/09 21:58

No.2 回答者： hashiman 回答日時： 2003/06/08 15:24

フォトレジストとはシリコンウエハ上に配線パターンを形成するときに使われます。

まずは表面を酸化させたシリコンウエハ上にフォトレジストを形成します。次に、配線を形成したい、つまり溝を作りたい部分のみを紫外線をあてます。そうすると、紫外線があたった部分のみフォトレジストがなくなり、あとはエッチングをすることにより、フォトレジストでカバーされていない部分のみ溝が形成することになります。つまり、フォトレジストとは保護膜みたいな役目をます。

この回答へのお礼

ありがとうございました。
イメージがわきました。

お礼日時：2003/07/09 22:00