マイクロ波プラズマCVD装置

マイクロ波プラズマCVD装置

マイクロ波プラズマCVD装置に用いる真空計に関しての質問ですが、調べると隔膜真空計およびピラニ真空計を用いている装置がありました。隔膜真空計はチャンバー内の圧力測定に用いるというのはわかるのですが、ピラニ真空計はどこに何の目的でつけるのか、ご存じでしたらご教授頂けないでしょうか。

No.1 ベストアンサー 回答者： inara1 回答日時： 2010/08/20 19:33

ピラニ真空計は真空度が 1Pa～1000Pa 程度の範囲を測定できるので、ロータリーポンプで大気圧から減圧していく（荒引き）ときの真空度をモニタするのに使われます。

大気圧から減圧していって、真空度が数Paになると、ピラニ真空計の電源を切り、高真空が得られるポンプ（拡散ポンプやターボ分子ポンプ）に切り替えてさらに真空度を上げます。このときの真空度はピラニ真空計では測定できないのでペニング真空計や電離真空計が使われます。

そして、真空度が 10^(-3) Pa ～ 10^(-6) Pa 程度の範囲まで減圧されると、真空計の電源を切り、真空チャンバー内部にCVD用のガスが導入されます。そのガスの圧力を測定するのに使われるのが隔膜真空計（バラトロン真空計）です。

ピラニ真空計や電離真空計は、気体の種類によって、本当の真空度と測定される真空度がかなり異なったり、腐食性や反応性の高いガスが含まれている雰囲気の圧力を測定できない（ヒータで加熱された部分があるためヒータが腐食してしまう）のですが、隔膜真空計は気体の絶対圧力が測定できて、なおかつ、腐食性のガスの圧力が測定できるので、CVDやRIE(反応性イオンエッチング）装置での導入ガス（腐食性ガスが多い）の圧力を測定するために使われます。

この回答へのお礼

それぞれの真空計の役割のイメージがわいてきました。
ありがとうございます

お礼日時：2010/08/25 14:48