A 回答 (3件)
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No.3
- 回答日時:
No.2
- 回答日時:
アスペクト比とは、縦横比のことで、柱の高さと柱の幅の比、溝と深さの比です。
半導体以外の分野でも使うんじゃないかなぁ~集積化にともない、半導体プロセスでは、ミクロン、サブミクロンオーダーの金属配線の作製や絶縁層の加工などが必要となってきました。ミリの世界の加工技術では追いつかないので、光や電子線を使った加工技術により、半導体プロセスは成り立ってます。例えば、フォトエッチングなどでレジストを所望の形に露光、現像し、出来上がった溝に金属をメッキしようという工程を考えます。このとき、現像後のレジストの柱のアスペクト比が大きすぎる(ひょろひょろの柱を想像してください。)と、柱が倒れてしまい、メッキの工程に進むことができません。このように、設計通りのものを作るためには、このアスペクト比に関する考慮は重要です。サブミクロン、ナノオーダーのモノの中には、電子線などを利用して、設計通りの溝を掘ったり、描いたりすることはできても、アスペクト比が実現できる材料がないので、今のところ作製不可能なモノがたくさんあるのです。
No.1
- 回答日時:
孔や溝の開口幅と深さの比のことだそうです。
幅0.5μm、深さ2.0μmの溝のアスペクト比は4.0 というように使います。
参考URL:http://www.melco.co.jp/news/2000/0613.htm
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