ワイヤーボンディングのスパークエラーの対処は？

ワイヤーボンディングのスパークエラーが頻繁に発生し
困っています。現象としてはボール成形不良と推測出来ますが設備の調整及びツールの選択で対処できる方法は無いでしょうか。

No.2 ベストアンサー 回答者： noname#29104 回答日時： 2004/02/17 18:31

>エラー直後ですが、(1)金線が抜けている場合と(2)ボールが出来ていないと言う現象が見られます。

又、テール長の長さが安定していない感じが見受けられます。

クランプが閉まり金線を固定する前に金線が切れるんですね。

スパークエラーが増える前に何か変わりましたか？
１．何も替わってなければ、材料のロットを変えてみたらどうでしょうか？
２．2ndボンド後に、クランプが閉じる瞬間に上昇を止めるモードはありませんか？有ったら設定をONにしてみてください。
３．2ndへのタッチストレスを下げるということで、タッチ前のスローダウン高さを高くし速度を下げられませんか？

要は2ndボンディング中のストレスを出来るだけ下げるのが良い方法だと思います。

この回答へのお礼

アドバイス有難うございました。掲示していただいた内容で再度トライしてみます。

お礼日時：2004/02/18 08:23

No.1 回答者： noname#29104 回答日時： 2004/02/17 16:22

何故ここで仕事の専門的なことを質問されるか知りませんが・・

スパークエラー発生直後はどうなってますか？
　１．金線が抜けている？
　２．金線のフィード量（キャピラリからののぞき量）がバラツク
　３．金線が長く出てスパークロッドにタッチしている。

予測原因
　１．2ndのUSが強い、クランプの開き量が大きい、キャピラリが欠けている、金線のぞき量設定が短い
　２．2ndのUSが強い、クランプ開き量が大きい
　３．2ndに異物、2ndのUSが弱い、2ndが変形・変質

などです。
現象を良く見て詳しく説明してくれれば、もっと具体的なアドバイスが出来ると思います。

この回答への補足

アドバイス有難う御座います。
エラー直後ですが、(1)金線が抜けている場合と(2)ボールが出来ていないと言う現象が見られます。
又、テール長の長さが安定していない感じが見受けられます。クランパーの開き量は0.1mm程度で適正と思われます。USの強さは２nd剥がれが起きない程度に設定しており強すぎず弱すぎずの条件にしております。
何か良いアドバイスがあれば宜しくお願いします。

補足日時：2004/02/17 16:58