リチウム金属の薄膜を作るとき、蒸着とスパッタ、どちらもできますか？

リチウム金属の薄膜を作るとき、蒸着とスパッタ、どちらもできますか？
それぞれできるか、できにくい場合、何が影響するのか教えてください。

No.3 ベストアンサー 回答者： varietyknowledge 回答日時： 2018/04/14 09:42

ANo.1/2です。

>アルゴン雰囲気のグローブボックスなどの中で、真空に引き、蒸着をすればよいということですね。

できるかもしれませんが、No.1の回答で書いた通り、真空にするとチャンバー（この場合グローブボックス）に付着することは避けられません。

>スパッタの場合は、真空度をそこまで上げるとプラズマができないので、△なのかなと思いましたが、違いますかね？

リチウムは静電気で発火することがあります。
スパッタ粒子は帯電しているので、静電気がどんどんたまっていきます。
No.1の回答で書いた通り、スパッタリング法は使用しないほうが良いと思われます。

この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。

＞できるかもしれませんが、No.1の回答で書いた通り、真空にするとチャンバー（この場合グローブボックス）に付着することは避けられません。

→ エタノールなどで拭き取ればよいということですね。

＞リチウムは静電気で発火することがあります。
スパッタ粒子は帯電しているので、静電気がどんどんたまっていきます。

→　確かに静電気がたまるのは△ですね。

ご回答ありがとうございました。

お礼日時：2018/04/16 22:26

No.2 回答者： varietyknowledge 回答日時： 2018/04/13 21:46

ANo.1です。

>コーティングする場合などは、どのようにされていますでしょうか？
>どちらの手法も酸素などの大気雰囲気を極力なくせばよいということでしょうか？

単体リチウムは、反応性が非常に高いため、取扱いはアルゴン（希ガス）雰囲気下で行うことになります。
コーティングの用途がよく分かりませんが、単体リチウムはイオン化傾向が高いので、何かの固体に対して表面コーティングはできないと考えて下さい。

ちなみに、リチウム電池はマイナス極側にありますが、リチウムが表面に出ているわけではなく、電池内部に化合物として存在しています。

この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。
コーティングというより、ノンブロッキング集電用ですね。確かに反応性は高いので、作成時の反応は無視できなさそうですね。
では、アルゴン雰囲気のグローブボックスなどの中で、真空に引き、蒸着をすればよいということですね。
スパッタの場合は、真空度をそこまで上げるとプラズマができないので、△なのかなと思いましたが、違いますかね？

お礼日時：2018/04/14 03:26

No.1 回答者： varietyknowledge 回答日時： 2018/04/09 23:09

リチウム金属の薄膜は圧延ロール法で作成されています。

（真空）蒸着法、スパッタリング法は以下の問題があり使用されていません。

・（真空）蒸着法はリチウムが真空チャンバー壁へ付着してしまう問題がある。
・スパッタリング法はリチウムが発火しやすいため、最悪の場合、爆発の危険性がある。

この回答へのお礼

ごかいとうありがとうございます。
コーティングする場合などは、どのようにされていますでしょうか？

どちらの手法も酸素などの大気雰囲気を極力なくせばよいということでしょうか？

お礼日時：2018/04/13 19:02