油拡散ポンプの酸化

油回転ポンプ，油拡散ポンプを使用して真空蒸着法を行っている者です．

この間，油拡散ポンプのヒーターが十分熱くなっているとき，誤ってポンプ内を大気にさらしたまま10～15分ほど加熱してしまいました．
その後，再び真空排気しようと試みたのですが，2×10^-5 Torr　まで排気できていたものが，
7×10^-4 Torrまでしか到達しなくなりました．

これって内部の油が酸化してしまっているのでしょうか？
だとしたらどう対処すればいいのでしょうか？
よろしくお願いします．

No.2 ベストアンサー 回答者： noname#11476 回答日時： 2004/12/15 15:02

やっちゃいましたか。

今のオイルを全部捨てて、オイル交換です。
あとは真空に引きつづけて不純物を飛ばします。

そういえばはるか昔私もやっちまったことが。。。。

この回答へのお礼

ありがとうございます．
油を変えました.そしたら動作するようになりました！

酸化・・・ですよね？
酸化した油はあんなに黒くなるもんなんですねぇ・・・

お礼日時：2004/12/17 12:27

No.1 回答者： millia 回答日時： 2004/12/15 14:07

油の強烈な臭いがしたら、内部が汚染されているでしょう。

おそらくオーバーホールが必要かと思います。
真空蒸着をされてたそうですが、リークには慣れてないと気づかないことが多いですね。

この回答へのお礼

ご返事ありがとうございます．
いやぁ・・・リーク探しはつらすぎます・・・

オーバーホールですか・・・結構費用かかりますねぇ・・・
とりあえず油を入れ替えて目的の圧力まで達しました．
ありがとうございました．

お礼日時：2004/12/17 12:29