ハマっている「お菓子」を教えて！

ナノテクノロジーの相変化リソグラフィーがありますがこの別名、一般名称を教えてください。 相変化記録技

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  • 質問者：infjp
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

ナノテクノロジーの相変化リソグラフィーがありますがこの別名、一般名称を教えてください。
相変化記録技術とは少し違います。

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： himagene
  • 回答日時：

相変化？「位相シフト」ではありませんか。

もしそうであれば、位相シフト・リソグラフィーあるいは位相シフト法を用いたリソグラフィー。
https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/12 …
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