銅ガスケット

真空チャンバーで使用する銅ガスケットについて質問です。
使用しているチャンバーでガスケットを交換したのですが何度慎重に取り付けても歪んでしまいます。そのせいでどうしてもリークしてしまいます。これまで使用していたガスケットと違うのはメーカーのみです。
そこで初歩的なことですが、銅ガスケットって規格か何かがあってサイズは統一されているのでしょうか？ぱっと見は同じサイズでも微妙に違うのかなと疑問になってきました・・

No.3 回答者： JA5454 回答日時： 2010/03/01 18:35

どのくらいのフランジ口径（サイズ）のガスケットでしょうか？

銅ガスケットはCF34-203口径程度まではそれほどメーカー差は無いと思います。但し大口径フランジでは事情は異なります。
口径の大きなフランジの締結ではボルト締付トルクの管理不良や姿勢（フランジが水平向きになっていてうまくガスケットが固定できない）などの問題も考えられますが、ガスケットとフランジの両方に問題が潜在することが考えられます。また、溶接構造を伴う側のフランジには変形の可能性もあります。

No.2 回答者： astra0641 回答日時： 2007/06/17 22:12

銅のガスケットを用いるのはICFのフランジですよね。

これは、共通規格ですから、メーカーが違っていても互換性はあるはずです。
質問文の「歪んでしまう」の意味が、よく分からないのですが、これは、フランジの隙間が周囲で均一にならないということでしょうか。だとしたら、通常は、問題はフランジではなく、締め付け手順です。きちんとトルクレンチをつかって、トルク管理をして、そして、対角線＋十字＋時計回りなどの方法で均一に締め付け作業をされているでしょうか。手順が悪いと、いくら慎重にやっても均一な締め付けは困難かもしれません。

No.1 回答者： nrb 回答日時： 2007/06/16 13:46

硬さが違うのです

純正の部品は真空チャンバーの圧力を考慮した設計になってます
当然違うメーカのを使えは硬さ（強度）が不足して起こる可能性があります