
No.2ベストアンサー
- 回答日時:
アルコキシシランを原料に作られる物です。
粒状の物の他繊維状の物もあります。IC平坦化用の研磨材、シリコンウエハーの研磨材、各種コーティング用充填材、合成ガラスの原料などに使われます。またダイヤモンド研磨による試料の歪、変質層を取り除くのにもつかわれます。
この回答へのお礼
お礼日時:2001/03/19 22:49
早速のお返事誠にありがとうございます。
貴重なアドバイス参考にさせていただきます。
もし、補足情報などありましたらまた教えていただきたいと思っております。
是非とも宜しくお願い致します。
No.1
- 回答日時:
1、3についてはわかりませんが
主な用途については
●IC平坦化用の研磨材
●シリコンウエハーの研磨材
●各種コーティング用充填材
●合成ガラスの原料
みたいです。
参考URL:http://www.fusokk.co.jp/products/silica/silica02 …
この回答へのお礼
お礼日時:2001/03/19 22:51
早速のお返事誠にありがとうございます。
貴重なアドバイス参考にさせていただきます。
もし、補足情報などありましたらまた教えていただきたいと思っております。
是非とも宜しくお願い致します。
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