半導体上の電極について

半導体上の研究を始めた者です。

半導体上の電極、例えばSi上にAlなどの金属電極を上から堆積した系での話です。

まず、コンタクト抵抗(Ωcm)、固有コンタクト抵抗(Ωcm^2)、抵抗率(Ωcm)、コンタクト抵抗率(Ωcm^2)の違いを教えてください。
私の認識では、
抵抗率(Ωcm) : 断面積・長さを持つ一般的な抵抗の抵抗率
コンタクト抵抗(Ωcm) : ?
固有コンタクト抵抗(Ωcm^2) = コンタクト抵抗率(Ωcm^2) : 電圧を電流密度で割ったもの
です。

宜しくお願いします。

質問者からの補足コメント

• 面抵抗はシート抵抗のことですよね？
  体積抵抗は例えば立方体の抵抗材料に対して、用いるもの、シート抵抗は半導体表面を電流が流れるような、薄い領域での抵抗という認識です。
  
  抵抗率は、体積抵抗の議論に用いるもの、コンタクト抵抗率は接触面に生じる抵抗の議論に用いるもの。そのうち、理論値、または一般値がコンタクト抵抗率、実際に作成したサンプルのそれぞれの電極から測定したものが固有抵抗率ということでしょうか。
  
  とすると、コンタクト抵抗(Ωcm)がやはりよくわかりません。Ωcmということは面積・長さが分かれば抵抗値が出せるということですよね？接触面の抵抗を除いた電極金属の抵抗率ということでしょうか？

    補足日時：2016/04/26 23:28

• コンタクト抵抗やコンタクト抵抗率は、金属と半導体の接触面で生じてる抵抗だと認識しています。
  ただ、だとすると、コンタクト抵抗のΩcmという単位が理解できないということです。

    補足日時：2016/05/02 15:41

No.4 回答者： ngkdddjkk 回答日時： 2016/05/02 19:50

コンタクトが接合方向である場合、合金化厚さを考慮するため、体積抵抗率と同じ単位になります。

Ωcm2の単位は、このコンタクト厚さが固有の物である場合、コンタクト方向の長さは変化しないので使用されます。

これで意味わかりますか？

No.3 回答者： ngkdddjkk 回答日時： 2016/04/27 19:54

コンタクト抵抗ってどこの抵抗のこと指していると思っているの？

No.2 回答者： ngkdddjkk 回答日時： 2016/04/26 18:46

体積抵抗率と面抵抗率の意味が分かった上での質問だよね？

No.1 回答者： ngkdddjkk 回答日時： 2016/04/26 18:44

固有コンタクト抵抗は物質固有のプレーンなコンタクト抵抗のことを言っている。

固有がイントリンシックなものに対して、単なるコンタクト抵抗は実測値を表す。