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薄膜に関する質問です。一般に薄膜においては、結晶の粒径が小さいと抵抗率が高くなるようなのですが、それは粒径が小さいと結晶粒界が多くなり、結晶中の周期的な配列が乱れ、そこを通過する電子が散乱されてしまうからなのでしょうか。
また、バルクと薄膜では抵抗率が違いますが、それは主に何が原因となって抵抗に影響しているのでしょうか。

A 回答 (1件)

結晶粒界での散乱と考えていいと思います。


薄膜での抵抗率の上昇は、以下の二つが考えられます。
(1) 表面散乱の影響が大きくなる。
(2) 膜が連続膜でなくなる。
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この回答へのお礼

自分の考えが合っているのか少し不安でしたので、大変助かりました。また、薄膜の抵抗率は、表面散乱や膜の不連続性が考えられるとのことなので、自分でも調べてみようと思います。ご回答感謝いたします。

お礼日時:2002/12/21 19:57

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