真空計でコンベクトロンとはどういうものなのでしょうか?
教科書やネットで調べても載っていませんでしたので質問しました。

動作原理などを教えてください。よろしくお願いします。

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A 回答 (1件)

 これは低真空での真空度を測るピラニーゲージと同じ原理です。

つまり、気体の熱伝導が圧力に依存することを利用し、気体中に挿入した加熱素子の温度変化を計測して圧力を求める真空計です。

 グランビル・フィリップス社のコンべクトロンについてもう少し詳しく説明すると、真空中の加熱素子をホイートストンブリッジの一つの抵抗とし、圧力による温度変化(圧力が高いと熱伝導により温度が下がる)を抵抗変化として検出し、真空度の測定を行っています。

参考URL:http://www.helixtechnology.co.jp/gp/gp_375v.html
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この回答へのお礼

ピラニーゲージと同じ原理だったんですね。それならすぐに理解できます。でもなぜコンベクトロンって載ってないのでしょうか?製品として出るぐらいだから有名なような気がするのですが。。。
ありがとうございました。

お礼日時:2001/06/22 10:28

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QPa・m3/sとはどういう解釈をすればよいのですか?

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Aベストアンサー

何についてのリークなのかが良く分からないのですが、真空機器でしょうか?
Torr・L/sについてですが、真空機器ではリークレートとしてポピュラーな単位です。
最近はMKSになっているのかもしれませんが。
さて、意味ですが、毎秒何個のガス原子・分子が通過するかという意味です。
リークチェックにHeを使うとすれば、He原子が毎秒何個通過するかということになります(真空機器のリークチェックでは一般的にHeガスを使います)。
さて、なぜ毎秒何個という単位になるかというと、Torrを換算します。
1気圧(760 Torr)において室温で1モルのガスは22.4リットルですから、1 Torrにおけるガスの密度は、6.02×10^23/(22.4×10^3 cm3)/760~3.5×10^16 個/cm3となります。
これにTorr L/sのLをかけると、単位は個となります。
従って、毎秒何個という単位となります。

ちなみに、通常は、リークディテクタという機械を使ってリークレートを測定します。
ただ、1×10^-6 Torr・L/sというと、真空機器としてはリークレートが大きすぎるので、リークディテクタでは測るのが厳しいかも知れません。

それから、圧力変化はリニアではなく単純にはexpです。
V(∂p/∂t) = Q - p s
で求められます。
ここで、Vは容器の体積、pは圧力、Qはソース項、sは排気速度(L/s)です。
ソース項には一般的にリークレートと壁からのアウトガスがあります。
単純にはと書いたのは、Qが変わらないという単純化をすると解析的に解けてexpとなるという意味です。

あなたは学生さんでしょうか。
もしそうであれば周囲の先輩や先生に教えを乞えばもっと詳しく教えてくれるでしょう。

何についてのリークなのかが良く分からないのですが、真空機器でしょうか?
Torr・L/sについてですが、真空機器ではリークレートとしてポピュラーな単位です。
最近はMKSになっているのかもしれませんが。
さて、意味ですが、毎秒何個のガス原子・分子が通過するかという意味です。
リークチェックにHeを使うとすれば、He原子が毎秒何個通過するかということになります(真空機器のリークチェックでは一般的にHeガスを使います)。
さて、なぜ毎秒何個という単位になるかというと、Torrを換算します。
1気圧(7...続きを読む

QRF(高周波)電源の原理

発振周波数13.56MHzの自励発振方式の高周波電源を用いてプラズマを発生させ、プラズマ重合というものにより薄膜を形成する実験を行っているのですが、自励発振方式、進行波、反射波、マッチングBOXなどわからないものが盛りだくさんです。高周波電源、RF電源で検索にかけてもヒットするものはなく、図書館でもキーワード「高周波電源」では本が出てこないです。高周波電源の原理に関する文献などありましたら紹介してください。よろしくお願いします。
(装置のマニュアルにも原理はありませんでした)

Aベストアンサー

No.2のymmasayanです。

「自励発振」という言葉と「高周波電源の原理」という言葉に惑わされて
的外れの回答をしてしまったようです。

発振方式には自励式と水晶式、PLL式などがあり、一方電源としては自励式と他励式が
あります。
同じ自励式という言葉でも意味がぜんぜん違います。発振周波数13.56MHzということは
水晶発振による自励式電源ですね。
ここでいう自励式電源とは発振回路を内蔵している電源のことです。
他励式というのは他の装置(発振回路)から信号をもらって増幅器だけを持つものを
いいます。

>高周波電源、RF電源で検索にかけてもヒットするものはなく

Googleで「高周波電源」で約1300件、「高周波電源 マッチング」で
約120件ヒットします。1例を参考URLに記載します。

「進行波、反射波、マッチング」は無線機とケーブルとアンテナに関するものが
詳しいと思います。又No.2の参考URLで紹介した書籍にも第1章に載っています。

少し難しいですが下記URL
http://www.mogami-wire.co.jp/paper/tline/tline-01.html
の 5. 定在波 6. リターンロスと反射損失
のところにも「進行波、反射波、マッチング」の話が載っています。

参考URL:http://www.thp.co.jp/rf_pro/matching.htm

No.2のymmasayanです。

「自励発振」という言葉と「高周波電源の原理」という言葉に惑わされて
的外れの回答をしてしまったようです。

発振方式には自励式と水晶式、PLL式などがあり、一方電源としては自励式と他励式が
あります。
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水晶発振による自励式電源ですね。
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Qサーモカップルゲージとピラニー真空計について

PVDの装置に使用している真空計のなかに、サーモカップルゲージ(T/Cゲージ)とピラニーゲージ(コンベクトロン)がありますが、測定範囲がほぼ同じであるにもかかわらず、前者は、クライオポンプに装着し、後者は、プロセスチャンバーに装着されています。測定原理も同じとおもいますが、使い分けの理由が分かりません。どなたか詳しい方の回答をお願いいたします。

Aベストアンサー

クライオやTMPは、大気圧から排気することができないので、あらかじめクライオやTMPのバックからクライオやTMPが動作する事が可能な圧力まで大気圧で排気可能なロータリー(あまり使用しない)やドライポンプで荒引きしてあげる必要があります。その圧力の測定は、大体でいいので安価で精度がいまいちなTCゲージを使用しています。(なのでクライオとドライの間のフレキに入っている、1Pa以下ぐらいでポンプがONしてもよくなるのでは?)。それで精度のよいピラニがチャンバに
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Qエクセル STDEVとSTDEVPの違い

エクセルの統計関数で標準偏差を求める時、STDEVとSTDEVPがあります。両者の違いが良くわかりません。
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(例)
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また、平均値7と各数字の差を取り、それを2乗し、総和を取る(182)、これをデータの個数13で割る(14)、この平方根を取ると3.741657となります。
では、STDEVとSTDEVPの違いは何なのでしょうか?統計のことは疎く、お手数ですが、サルにもわかるようご教授頂きたく、お願い致します。

Aベストアンサー

データが母集団そのものからとったか、標本データかで違います。また母集団そのものだったとしても(例えばクラス全員というような)、その背景にさらならる母集団(例えば学年全体)を想定して比較するような時もありますので、その場合は標本となります。
で標本データの時はSTDEVを使って、母集団の時はSTDEVPをつかうことになります。
公式の違いは分母がn-1(STDEV)かn(STDEVP)かの違いしかありません。まぁ感覚的に理解するなら、分母がn-1になるということはそれだけ結果が大きくなるわけで、つまりそれだけのりしろを多くもって推測に当たるというようなことになります。
AとBの違いがあるかないかという推測をする時、通常は標本同士の検証になるわけですので、偏差を余裕をもってわざとちょっと大きめに見るということで、それだけ確証の度合いを上げるというわけです。

Qアメリカのサイズ表記(略?)「"」ってインチのこと?

eBayでファブリックを購入したいのですが、サイズがよくわかりません。
36" X 56"と書いてあって、「"」というのはインチを表しているのでしょうか?(だとしたら、1インチ=2.54cmで計算すればいいのでしょうか?)

Aベストアンサー

蛇足

例) 3.5″HDD =3.5インチのハードディスクドライブの略。

「″」(ダブルプライム記号)によっても書かれる。
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%A4%E3%83%B3%E3%83%81

>(だとしたら、1インチ=2.54cmで計算すればいいのでしょうか?)
そのとうりです。

単位変換フリーソフト(Windows)
http://download.goo.ne.jp/software/category/win/business/calc/


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