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軽元素の検出について、EDXとICPの違いは、主に検出原理にあります。
EDXは電子線を試料に照射し、試料から放出されたX線を検出して元素の種類と量を分析する方法です。一方、ICPはプラズマを生成して試料を燃焼させ、燃焼ガス中の放射線を検出する方法です。軽元素の検出において、ICPの方がEDXよりも優れている理由は、軽元素の場合、X線のエネルギーが非常に小さいため、EDXでの検出が困難であることが挙げられます。一方、ICPでは、軽元素でも放射線を発生させることができるため、軽元素の検出に向いています。
また、EDXは検出感度が低く、試料表面に限定されるため、試料の表面に存在する元素しか検出できません。一方、ICPは試料全体を燃焼させて放射線を発生させるため、試料内部に存在する元素も検出できるため、より広い範囲の元素分析が可能です。
なお、ICPでも軽元素の検出は難しい場合がありますが、それは試料の物理的性質や測定条件によって異なるため、詳細な条件設定が必要となります。
ありがとうございます。ICPの放射光というのは、X線ではないですか?であれば、EDXとの軽元素への感度の違いがわからなくなりました。
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