半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥(特にフッ素汚泥、有機汚泥)について処理方法をどうしているのか教えて下さい。

A 回答 (1件)

シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。



参考URL:http://nmc.nikkeibp.co.jp/news3/n9594.html
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Aベストアンサー

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工場排水処理施設全般がわかる本はないと思います。
というのも、工場ごとに排水に含まれる処理対象成分が違うため、処理したい物質に対する処理プロセスの組み合わせとなるためです。また、濃度も工場ごとに異なり、放流基準を多少超える場合の処理方法と放流基準を大きく超える場合の処理方法が異なることもよくあります。
例えば、排水のBODが高ければ生物処理が一般的ですが、これに重金属が含まれていれば凝集沈殿を組み合わせたり、キレート吸着を組み合わせたりします。また、BODの成分によっては活性炭を使う場合もあります。では、油が含まれていれば、そのときに出てくる汚泥の処理は・・・といった具合にきりがありません。
したがって、工場排水の処理プロセスを理解したいのであれば、結局たくさんの処理技術を理解するしかありません。
酸化・還元などの基礎知識があった方がよいですが、なくても処理物質と処理方法の組み合わせがわかっていれば全体のプロセスは理解できます。

処理技術そのものの理解であれば、水処理技術絵とき基本用語(タクマ環境技術研究会)が結構評判がいいですが、質問者が理解できるかはわかりません。
 質問の主旨と違うかもしれませんが、ご参考まで。

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Q食品工場の廃水処理について

 当方、食品工場の排水処理に関わっている者です。排水や河川の水質試験の指標としてBOD、COD、TODがありますが、食品工場の熱水殺菌工程直後や洗浄後の排水の水質評価はどれが適しているのでしょうか?各製造工程における水処理への負荷を測定するのが目的です。
 BODでは菌がほとんどいないため数値がでないものもあり、かといってCODでは数値の信頼性がイマイチなような気がするのです。TODはやったことがありません。
 水処理を通していない工場内排水では結構栄養成分が豊富なので、ケールダール法で全窒素を測定するのが良いのでしょうか?何かいい方法があれば教えてください。贅沢かもしれませんが既存の測定法と相関性が高い方法がよいのですが。
 よろしくご教授下さい。

Aベストアンサー

 食品工場と、排水中の成分は食品関係のものでしょう。それなら、本来は微生物が一番分解しやすいので、BODが適していると考えます。ただこのケースの場合、殺菌してあれば、BODでは正確な値はでません。
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六ヶ所村の再処理工場ですが、この施設は設備の更新さえすれば半永久的に稼働可能なのでしょうか、それとも何年かで寿命になるのでしょうか。

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http://mext-atm.jst.go.jp/atomica/02020313_1.html

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