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半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥(特にフッ素汚泥、有機汚泥)について処理方法をどうしているのか教えて下さい。

A 回答 (1件)

シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。



参考URL:http://nmc.nikkeibp.co.jp/news3/n9594.html
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