薄膜の歪みについて

薄膜の歪みを計算したいのですが理論に関しては全くの素人です・・・
膜厚-内部応力の関係式のようなものはあるのでしょうか？
なにかオススメの文献等ありましたら教えて下さい。

No.2 回答者： rakurakura 回答日時： 2009/04/13 15:25

薄膜がゆがむのは、物性の異なる２つの膜が接着している時によく起こります。

そのためのモデル式が、
http://www.tytlabs.co.jp/japanese/review/rev341p …
のP3の式(2)にあります。
ゆがみのレベルとして、膜断面のR：曲率半径（ゆがみのカーブ）を自分で見積もる(or実測する)事が必要です。

薄膜がなにかの基板に接着している場合は、基板のヤング率とポアソン比と、それぞれの厚みを式に入れて計算してみて下さい。
参考の値は、以下を参照して下さい。
http://www.kyowa-ei.co.jp/support/pdf/1.strainga …
http://ja.wikipedia.org/wiki/→ヤング率
単一の薄膜の場合は、基板と薄膜を同じヤング率、膜厚を半分にして計算してみて下さい。

応力が分かれば、(応力)＝(ひずみ)×(ヤング率)なので、
歪みが求まります。

No.1 回答者： spring135 回答日時： 2009/04/07 09:38

機械工学便覧の材料力学のところが役に立つと思います。