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A 回答 (2件)
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No.2
- 回答日時:
たびたび、追加(^^;
ふと思ったのですが
・ガス流量xはチャンバー内のガス量に比例する。
・ある気体の分圧はガス量に比例する。
つまり、ガス流量はチャンバー内のガスの分圧に比例する。
単純計算すると
PV=nRT でT, Vは一定、Rは定数
P=P1+P2
P1:P2=x1:x2
気体1の分圧は
P1=[x1/(x1+x2)]×P
となりませんか?
間違えてたら補足してください
No.1
- 回答日時:
ん~、私もスパッタやってました(笑)
ガス流量比をmol比になおすと言う方法もいいと思います。
あとはガスを入れるときに
Arガス x Pa
を流したあとに(このときの全圧はx Pa)
N2ガス流入させ希望する全圧までもっていく。
当然、
全圧-x=y
yはN2の分圧
となるわけです。
分かったでしょうか?
他にもプラズマの発光を分光させ、ある波長の光の強度を測る装置を用いて(ある元素はある固有波長の発光をすることはご存じと思います)その強度から分圧を求めると言った方法も考えられますが……装置が必要です(笑)
そんなところでしょうか
おお スパッタの先輩だ!((泣))
うちにある装置不便なことに分圧を表示しないんです!
ガスを圧でなく流量で示している文献なんてないですよね(笑)
上の説明よくわかりました! ありがとうございます!
ちなみにマグネトロンスパッタリング法でTiN膜付けてます
スパッタの先輩とは心強いです また見かけたらアドバイスお願いします!
P.S 補足要求とありましたが何かあったでしょうか?
具体的に言って頂ければ補足します!!
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