エッチング液について

ニクロムについてご教授していただきたくお願い致します。
ニクロム膜（５μｍ）を３分以内でエッチング（フォトリソ）したく
エッチング液の情報を教えていただきたくお願い致します。
硝酸第二セリウムアンモン系以外でお願い致します。
Fe2Cl3系で可能でしょうか？

No.1 回答者： isoworld 回答日時： 2014/04/08 22:03

　塩化第二鉄の液は銅箔のエッチング剤としてプリント基板によく使われていますが、ニクロムにも使えるみたいですよ。