リソグラフィー技術について

現在のリソグラフィー技術の今後の課題についておしえて下さい．
また一般生活の中でどんなところにリソグラフィー技術って使われてるのでしょうか？おねがいします

No.1 回答者： denden_kei 回答日時： 2001/07/24 21:58

>現在のリソグラフィー技術の今後の課題についておしえて下さい．

集積回路の製造に使うフォトリソグラフィに関して考えます。

配線の微細化に伴い、より短波長の露光用光源が必要となっています。この例として、放電による光を利用する、放電光源が検討されています。

微細化に従い、不純物粒子のより徹底的排除が必要なほか、シャープな仕上がりのためのプロセス条件が難しくなっています(細かい部分は各社の企業秘密です)。