近畿地方でクリーンルームを持っている大学

こんにちは。

半導体研究をやっているものです。
近畿地方の大学でクリーンルームを持っている大学をご存知でしたら、教えていただけませんでしょうか？ついでにMBEかMOCVDもあれば、なお○です。

よろしくお願いいたします。

No.1 ベストアンサー 回答者： himagene 回答日時： 2021/06/07 17:43

「微細加工プラットフォーム」に参加している機関であれば持っています。

近畿地方では、京大、阪大にあります。e-beam lithography, UV lithography,
MBE, MOCVDなどの加工器の他に SEM, STMなどの検査機器も揃っています。まず、連絡を取り、作りたい物（材料も含め）と形を説明してそこの設備で可能かどうかを相談します。可能であれば、契約の後、機器ごとの講習を受けてから試作です。講習の段階から時間で課金され、大学と企業では値段が違います。基本的には自分で作業することになります。借料は数十万円もあれば大丈夫かと思いますが単価と加工に必要な大体の時間を聞いておくほうが良いでしょう。複雑な形や大きく時間がかかるものを作るとそれなりに高くなります。

この回答へのお礼

ありがとうございます。参考になりました！

お礼日時：2021/06/09 07:06