
No.2ベストアンサー
- 回答日時:
コンバージョンファクター表(CF表)は下記の通りです(英文)。
通常、窒素のCFを1としています。
http://www.mksinst.com/GasConversionTable.html
換算法ですが・・・上記HPのFAQに計算例が記述されておりますが、例えば、アルゴンガスで校正された最大流量100sccmのマスフローコントローラー(MFC)を用いて炭酸ガスを流した場合、実際の流量は下記のようになります。
(炭酸ガスのCF÷アルゴンのCF)×設定流量(sccm) =実際の流量(sccm)
(0.7÷1.39)×50(sccm)=約25(sccm)
質問のケースですが、窒素と水素のCFはそれぞれ、1と1.01ですのでほぼ同じです。従いまして事実上、換算の必要はありません。ただし、別の回答者の方のように、換算や設定だけでは対応できない場合もあるようなので、MFCのメーカーに問い合わせた方が無難です。
これまで私は、CFの表を元に自分で換算するタイプの機種と、MFC用電源装置側で、ガス種に対応するCFの値を設定すると自動的に換算してくれる機種の2機種を使用したことがあります。後者ですとわざわざ換算する必要がありません。
参考URL:http://www.mksinst.com/GasConversionTable.html
No.1
- 回答日時:
マスフローコントローラはガスの物性値(比熱、密度)でセンサーの感度が異なります。
窒素ガスの測定値を水素に補正するときの係数がコンバージョンファクター(あるいは補正係数、CF)になりますが、水素と窒素では物性値が大きく異なりCFは大きすぎ、通常は同一のセンサーでは測定できないようです。取り付けられているマスフローコントローラがそれらをカバーしているかも知れませんので、メーカがどこか現物を調べ、直接問い合わせるべきでしょう。http://www.compoclub.com/support/faq/faq_mf.html …
参考URL:http://www.mr-techno.co.jp/heliumgass-meter.htm
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