SiO2のウエットエッチングについて聞きたいのですがマスクをSiO2上に施したものと何も施していないものではエッチングのスピードは異なってくるのでしょうか。

A 回答 (1件)

なかなか回答がつきませんね。


ちょっと質問内容が専門的すぎるのでしょうか?

ところで、「マスクをSiO2上に施した」と書かれておりますが、「マスク」とは何ですか?
「マスク」というからには、SiO2をマスキング(隠す)しているのですよね?
SiO2の上に何かがあれば、フッ酸液と接触できず、エッチングもされないと思います。

マスクのあるところと無いところで、エッチングスピードに差があるのは当然ではないでしょうか?
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この回答へのお礼

ありがとうございました。

お礼日時:2002/03/05 14:21

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したがって、
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以上、参考まで。

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