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No.1ベストアンサー
- 回答日時:
普通半導体製造業などではプラズマを成膜,加工に良く使いますが,通常は減圧中で行います。
これに対して,常圧(大気圧)でプラズマを発生させてこのような処理を行うものを大気圧プラズマと呼んでいます。
特にクリーニングなどでよく使われています。
また最近では酸化物,窒化物の成膜にも応用されつつあります。
大気圧で行えるため,真空チャンバーの必要がないので,大きなサイズのものの加工に有効な手法です。
http://www.naisweb.com/j/pcfaj/aip_jpn/aip_jpn_0 …
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