レジスト剥離

レジスト剥離で、熱ストレスをかけずに剥離したいので、アセトンで除去してますが、完全におちません。何かいい案はありますか。

No.2 ベストアンサー 回答者： us123 回答日時： 2006/09/28 07:34

小さくて強い付着力がある場合には

高周波（１００ｋHｚ以上）の超音波を利用すると効果があります
超音波は使用方法により効果が大きく変わります
（振動子・発振機以外の水槽や液循環などについて検討してください）

この回答へのお礼

ありがとうございます。参考にします。

お礼日時：2006/09/28 12:30

No.1 回答者： yokomaya 回答日時： 2006/09/27 02:17

アセトン槽は幾つですか？レジストは溶け出しますからその濃度を下げる為に三槽位用意して順次綺麗な方に移動すると改善されるのでは？超音波洗浄をかけるのも効果が期待出来るかと。

この回答へのお礼

ありがとうございます。試してみます

お礼日時：2006/09/27 08:42