非点補正(stigmation)の方法

仕事でSEMやFIBを使っていますが、
非点補正(stigmation)が難しくて困ってます。
現状、調整に時間がかかり、
あまりきれいな像も得られません。

どなたか、ご教授願えませんでしょうか？

No.1 ベストアンサー 回答者： triones 回答日時： 2003/06/08 12:23

特に、裏技のようなものはなく、

Ａ．Focusを合わせて、像質をベストにする
Ｂ．スチグマ（Ｘ、Ｙ）を合わせて像質をベストにする。
Ｃ．もうちょっと倍率を上げる。
Ｄ．Ａに戻る、
ってな具合でやるしかないです。

この時、多少の注意事項は、
・高倍にしても、細かい像の特徴が分かる視野を選ぶ。のっぺらぼうでは、調整が難しいです。
・FIBでは、試料が削れてしまうので特にそうですが、SEMでもある程度汚れますので、このような作業は、目的の視野とは、別の部分で行う。
といったところでしょうか。

ありがちな誤操作としては、非点が大きいとき、いかにも非点がいるなぁ、
と思えるFocus状態（上述のＡのようになるべく正焦点ではなく）にして、
Ｂの操作を試みる、といったことでしょうか。
これでもできなくは無いのですが、意に反して調整は少し、難しくなります。

この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。
FIBでは高倍にするほど試料が削れてしまうので、あせって行ってしまいます。試料台などでゆっくりとA～Dの手順をやってみます。

お礼日時：2003/06/13 14:34