No.2
- 回答日時:
はじめまして、よろしくお願い致します。
半導体の電極板(カーボン仕様)を製造するときに真空で(塩素も・・)
高熱をかけ樹脂を焼き、カーボンのみを残す手法です。
ご参考まで。
No.3ベストアンサー
- 回答日時:
昔、半導体デバイスの研究をしていました。
といっても化合物半導体ですが。『500℃近い』とは、室温よりも非常に高い温度という意味で使っていると思いますが、確かに化合物半導体にとっては高温ですが、Siデバイスにとってはむしろ低温のプロセスです。
なにしろ、先ず最初の表面酸化膜形成は確か1200℃くらいの筈ですから。
ちなみに化合物半導体にCVDで成膜する場合は350℃くらいです。
レジスト塗布後のベーキングはせいぜい200℃程度ですが、ドライエッチングでは300℃くらいに上がることもあります。
イオン注入はドーズ量が高いと基板温度が数百度になることもありますが、意図的に500℃以上に保って活性化率を高めることもあります。
その後の活性化アニールでは、シリコンでは800~1000℃くらい、化合物でも300~500℃くらいに昇温します。
近年ではランプアニールが主流ですが、この場合は化合物でも800℃くらいに上げることもあるようです。
電極も蒸着しただけでは接触抵抗が高いので、きちんと低抵抗のオーミック電極を取りたいときは、数百度でアニールします。
この回答へのお礼
お礼日時:2011/02/19 15:30
表面酸化膜形成の工程かと思いましたが、
明らかに温度が違いますね・・・。
結論はわかりませんが、
必要な分野の情報ではなくなってしまったので閉めさせていただきます。
遅くなり申し訳ありません。
皆様ありがとうございました。
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