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No.1ベストアンサー
- 回答日時:
モノシランガス<SiH4>が発生するのではないですか?
この回答へのお礼
お礼日時:2004/01/07 13:22
ありがとうございます。
勉強いたします。
ちなみに、話は変わりますが、KOHやTMAHのエッチングレートなどご存知でしたら、また教えて頂けますでしょうか?
No.2
- 回答日時:
専門家ではないので、よくはわからないのですが、以前ナノピラミッドの作り方について調べた時のURLが残っていましたので、ご参考にされると良いと思います。
http://www.fuji-ric.co.jp/st/odette/
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