No.1ベストアンサー
- 回答日時:
ターゲット材を扱っていませんが、学生の時にさわっていましたので。
リデポ
スパッタガスでターゲット材から叩き出された粒子が、ターゲット材の非エロージョン部分に
再度付着することだったと思います。
これがエロージョン部分に入ってくるとアーキングの一因になるので、付着を防いだり、付着
したものがはがれないようにすることが重要と教わったと思います。
逆デポ
私は逆デポという言葉は記憶にないのですが、逆スパッタではないでしょうか。逆スパッタな
らば、スパッタガスでターゲット材から叩き出された粒子が対向する基板などに膜として付着
し、その膜がスパッタガスで逆に叩き出されてしまうことを言ったと思います。
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