論文中の用語 （薄膜）

ECRスパッタに関する論文を読んでいて,
わからない言葉にいくつかぶつかりました。
以下の単語です。

as depo, アニール, フラットバンド電圧, バリア耐性, arb

ご存知の方,1つでもいいので教えて下さい。
いつもわからない単語に苦労するので,
出来れば良い辞書などを紹介していただけると幸いです。
英語の論文を読むときも訳し方がわからず,
technical termにも苦労しています。

どうかよろしくお願いいたします。

No.2 ベストアンサー 回答者： noname#16084 回答日時： 2004/10/29 23:24

ａｓ　ｄｅｐｏ：

ｄｅｐｏはｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎの略．
成膜した直後の状態や，そのサンプルを指す．

アニール：
サンプルを，温度を上げた状態にしばらく保つこと．
サンプル内で発生している応力を，緩和させるなどの目的で行われる．
アニールしたサンプルに対し，
アニール前のサンプルが，ａｓ　ｄｅｐｏということになる．

フラットバンド電圧：
バンドダイヤグラムは知っていますか？知らなければ別に勉強して下さい．
半導体のバンドダイヤグラムは，
表面や界面では一般に彎曲しています．
不純物や欠陥，空間電荷などが存在するからです．
半導体に適当な電圧をかけると，
バンドを平らにすることができますが，
平らにするために，必要な電圧のことです．

バリア耐性：
すみません，分かりません．

ａｒｂ：
たぶん，ａｒｂ．　ｕｎｉｔと書いてあったと思います．
ａｒｂｉｔｒａｒｙの略で，「任意の」の意味．
例えば，Ｘ線回折では，
回折角２θを変えた場合，どのθでピークが現れるかと，
ピーク強度の，相対的な比のみが重要で，
ピーク強度の絶対値には，特に意味がありません．
そんなとき，グラフの縦軸は，「任意目盛」の意味で，
ａｒｂ．　ｕｎｉｔと注記されます．

専門用語を，網羅的に収録した辞書は，まず見つからないでしょう．
その専門分野のハンドブックや，用語集を使うのが現実的です．
どの分野のハンドブックを見ればよいか，分からない場合は
不明な単語を元の綴りのまま，検索エンジンで調べてみるのが早いです．
運がよければすぐ，誰かが作った用語集にヒットするでしょう．
そうでなくても，いろいろな人の研究データが引っ掛かります．
（海外の英語ページが引っ掛かることが，多いですが）
いくつか眺めれば，その単語がだいたいどんな意味を持つのか，見当がつきます．

この回答へのお礼

大変丁寧な説明,ありがとうございます。大変助かりました。

いつも　英語辞書,専門書(日本語),英語論文検索,google
などで調べていますが,読み進めるのが大変です。

本当にありがとうございました。

お礼日時：2004/10/29 23:59

No.1 回答者： wuyan 回答日時： 2004/10/29 23:01

as depo: as deposited の略で、成膜後熱処理前の状態。

アニール: 英語の anneal で、焼鈍のこと。
フラットバンド電圧: 下記参照。
http://66.102.7.104/search?q=cache:_bEYqXilxvAJ: …|lang_en
バリア耐性: 不明
arb: arb. unit ならば arbitrary unit の略。任意単位のこと。メートルやグラムのように明確に定義された単位ではなく、何かを基準にした相対的な単位。たとえば「東京ドーム何個分」とか。

この回答へのお礼

こんなに早く回答いただけるとは思っていませんでした。
ありがとうございます。
as depoなんてものすごく納得です。
arbもarb unitで使っていました。

本当にどうもありがとうございました！

お礼日時：2004/10/29 23:22