真空蒸着について

蒸着物(金)と被蒸着物(ガラス)の距離はやはり近い方が良いのでしょうか？
近すぎると金を昇華させる際の熱でガラスが溶けたりするのでしょうか？

No.2 ベストアンサー 回答者： sanori 回答日時： 2010/11/17 19:59

こんにちは。

半導体ＬＳＩで金を蒸着するには、物理蒸着（＝スパッタ）かメッキでやるんですが、「本当の蒸着」ですか。

金とガラスの距離は、膜厚を均一にしたいならば遠い方がよく、効率を重視するなら近いほうがよいです。
実験的に決める感じです。

次に、熱に関しては、ガラスの材質によります。
普通は、軟化点、融点が高い石英ガラスを使います。
石英ガラスの軟化点は１７００℃
http://www.ijinten.com/contents/yougo/sekiei.htm

金の蒸発温度は１４６５℃
http://www.escoltd.co.jp/05_application/useful/m …

真空なので、熱伝達は輻射だけです。
もしもガラスの温度を下げたいのであれば、ガラスの後ろに冷却アンテナ（パソコンのＣＰＵについている場合がありますが、同じ考え方）を付ければよいです。

この回答へのお礼

初歩的な質問に丁寧なご回答ありがとうございます。

お礼日時：2010/11/17 20:19

No.1 回答者： doc_sunday 回答日時： 2010/11/17 15:11

常識で考えるか経験者に習って下さい。

蒸着装置メーカーの方が良く知っています。