油拡散ポンプの油はなぜ

　素朴な疑問なのですが、油拡散ポンプの油は、なぜ蒸発し切ってしまわないのでしょうか。高沸点だそうですが、高真空な条件なので、蒸発しやすそうな条件だと思うのですが。補助ポンプの油回転ポンプで引き続けていくと、少しずつ蒸発していかないのでしょうか。

No.2 ベストアンサー 回答者： waamos 回答日時： 2012/04/30 01:42

拡散ポンプの下流は補助ポンプ、多くの場合はロータリーポンプで真空に引きますが、その部分の到達圧力はせいぜい10^-3 Torr程度です。

作業流体の蒸気圧は高純度シリコン系オイルなら10^-10 Torr、安価な炭化水素系オイルでも10^-8 Torr程度と極小です（参考URLのカタログに記載があります）。したがって補助ポンプ側への蒸発は無視できる程度に小さいと考えられます。

もちろん非常に小さいとはいえ、補助ポンプ側への蒸散、真空槽側への逆流、逆流防止用のコールドトラップで失われるオイルの量はゼロでは無いため、原理的には減っていきます。ただし非常にゆっくりと失われていくため、実際に拡散ポンプを運用する際にはあまり気にならないと思います。反応性ガスでオイルが汚れたとか、故障で漏れたとか、そういった理由でオイルを補充する頻度の方がはるかに高いです。

参考URL：http://download.chem.agilent.com/videos/instrume …

この回答へのお礼

　ありがとうございます。

＞原理的には減っていきます。ただし非常にゆっくりと失われていくため、実際に拡散ポンプを運用する際にはあまり気にならないと思います。

　なるほど、実用上は、無視できる速度、という解釈ですね。納得しました。

お礼日時：2012/05/02 17:26

No.1 回答者： freulein 回答日時： 2012/04/29 19:25

油拡散ポンプの蒸発した気体の油は作動条件ではごく近距離にある冷却壁で冷却されて液体に戻ります。

ご想像のように一部は真空室中に侵入しますし、油回転ポンプにも移動します。ただし、お説のようにこの油の高温での蒸気圧が余り大きくないように設計されているとのことです。

この回答へのお礼

　ありがとうございます。そういう条件、ということですね。

お礼日時：2012/05/02 17:24