半導体製造装置の部品の「再生」とは

半導体製造装置の文献を勉強しているのですが、半導体製造装置の部品を洗浄して「再生」(regeneration)するとか、半導体製造工程の材料(シリコンのインゴットなどのこと？)を「再生」(regeneration)するという言葉が出てきます。

この場合の「再生」(regeneration)とは、どういう意味でしょうか？

No.2 ベストアンサー 回答者： kmee 回答日時： 2014/04/28 23:52

前後を読まないとなんとも言えませんが

> 半導体製造装置の部品を洗浄して「再生」

製造に使用したことで不純物等で汚染され、製造に悪影響を与えるようになった装置を綺麗にして、再び製造に利用できるようにする
あるいは、↓に使う「再生成装置」を「洗浄する」という文であるとか。

> 材料(シリコンのインゴットなどのこと？)を「再生」(regeneration)

化学変化させたり、粉砕したりしたり、熱や薬品で溶かしたりしたもののから「再生成(regeneration)」する


ではないでしょうか。

この回答へのお礼

ありがとうございました!
すごく参考になります。

お礼日時：2014/04/29 23:55

No.1 回答者： foomufoomu 回答日時： 2014/04/28 14:47

これ↓の4番の意味そのままですが

http://dictionary.goo.ne.jp/leaf/jn2/85227/m0u/

この回答へのお礼

4番というのは「廃物を加工して、再び同種のものをつくり出すこと」ですね。
ただ、質問に書いた文献では「廃物」ではないと思うのですね。

ありがとうございました。

お礼日時：2014/04/28 16:10