半導体の膜厚

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質問者：runrun_2015
質問日時：2015/10/12 18:48
回答数：1件

今、半導体について勉強してます。
ちょっと知りたいんですが、
実際の半導体デバイスを作る時の半導体の膜の厚さはどれくらいなんですか？
やっぱりより薄い方がいいんでしょうか？
教えてください。

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回答 (1件)

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No.1

回答者： doc_somday
回答日時：2015/10/16 19:55

それは調べ方が悪い、この分野は既に学問では無く特許の世界です。

私は定年前精神神経科系統の疾患で窓際職を後輩で上司の部長から、古い言葉ですが超ＬＳＩの回路間の誘電率を低下させる特許を重点的に調べました、日本、米国、欧州特許庁の莫大な(言い過ぎ)特許を一日中パソコンで探し回り、関連特許を見付けたらダウンロードして部長に送る。その時は誘電率ばかりでドーピングされた半導体の厚さは無視、もちろん回路の巾は致命的なので一応気に留めましたが、もう憶えていません。いずれにせよ、前記の如く学術文献の世界では無いのです。