オゾンに耐える、フッ素樹脂コーティングはありますか？

半導体製造装置向けに耐オゾンに耐えられる静電塗装のフッ素樹脂コーティングを探しています。
原料メーカー及びグレードをご存知でしたらお教え願います。

No.1 ベストアンサー 回答者： anisol 回答日時： 2001/09/08 23:04

耐オゾン性に関してはどのフッ素樹脂も優れているようです。

NALGENE Labwareカタログ（ナルジェヌンクインターナショナル）によれば、FEP, TFE, PFA, ECTFE, ETFEすべて耐オゾン性"AA"（20℃および50℃で30日間の反応でダメージなし）となっています。

原料メーカとしてはやはりデュポン（日本では三井・デュポンフロロケミカル）ですが、自社でコーティングされるのでしょうか？下地処理や樹脂の焼成などがあるので、専門メーカに頼んだほうがよいと思いますが。コーティング会社として吉田SKT（参考URL）を挙げておきます。

参考URL：http://www.y-skt.co.jp/

この回答へのお礼

ご回答どうもありがとうございます。
参考になりました。

お礼日時：2001/09/09 20:13

No.2 回答者： samashi 回答日時： 2001/10/15 22:20

半導体製造装置向けのコーティング会社として、こんな会社もありました。

詳細な説明がＨＰにありましたので、ご覧になってみたら参考になるかも？

参考URL：http://www.nipponfusso.com/ja/tec_pro/semicon.html

この回答へのお礼

ご回答どうもありがとうございます。
参考になりました。

お礼日時：2001/10/15 23:14