シリコンウエハーの親水化

シリコンウエハーの表面は疎水性だと思うのですが、この表面を親水性にすることは可能でしょうか？可能でしたらそのやり方を教えていただきたいです。よろしくお願いします。

No.2 回答者： emden 回答日時： 2004/06/30 22:46

疎水性とは限りません。

処理に応じて、表面を疎水性にしたり親水性にしたりします。

親水性にするためには、表面に-OHをつけるような処理をします。界面活性剤やアルコールなどを使います。

No.1 回答者： sanori 回答日時： 2004/06/30 22:27

ありますよ。

実際使われてます。

この例の場合は、シリコンではなくて、ガラス（ＳｉＯ２）やフォトレジストの表面の親水化が、主な目的ですが、

ＳｉＯ２に穴を開ける工程（コンタクト孔を開ける工程）で、ＢＨＦ（バッファード弗酸）の液を使ってＳｉＯ２を溶かすときに、界面活性剤処理を行ないます。

界面活性剤とは、すなわち、石鹸みたいなものです。