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シリコンウェハーにフォトマスクの形に回路図作って半導体が出来上がると勉強したんですが、フォトマスクって具体的にどんな回路をしているんでしょうか?

フォトマスクの画像を探すとこんな画像が出てきましたがこれがトランジスタが数えきれないほど入ってる回路になるってイメージがつきにくいんですが、説明出来る方ご教授願いたいです

「シリコンウェハーにフォトマスクの形に回路」の質問画像

A 回答 (5件)

Youtubeで 電子立国日本の自叙伝 でも見ると理解が深まると思うよ



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この回答へのお礼

見ました!
とてもイメージしやすかったです
ありがとうございました

お礼日時:2019/05/16 18:55

■画像添付

「シリコンウェハーにフォトマスクの形に回路」の回答画像4
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>なるほど、何重にも重ねて複雑な事ができるんですね!


そのとおりですね。半導体もそうですが半導体を搭載するプリント基板も同じように配線が何重にも重なって出来ているんですよ。
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それを数十万倍に拡大すると見えてくると思います。

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半導体は、フォトマスクだけでできている訳ではなく、その前にバターンの材料になる層が形成されていて、その上にレジストが塗られており、それをフォトマスクで覆い露光します。

露光している部分が現像工程で除去され、露光しなかった部分が残留します。次にエッチング工程で残留したレジストのパターンが残り、そうでない部分が削られます。これの繰り返しで、パターンが作られて行きます。

従って、トランジスタの階層ごとにフォトマスクがあり、パズルのように組み合わさって実際のトランジスタが形成されて行きます。これが、立体的に形成されるとなると非常に複雑になり、難易度も上がって行きます。

精密で多機能な半導体ができるまで
http://www.ave.nikon.co.jp/semi/technology/story …

半導体製造のために集約されたニコンの技術
http://www.ave.nikon.co.jp/semi/technology/story …

フォトマスクの製造:半導体のパターン作成と同じですね。
https://filcon-photomask.com/product/process.php

フォトマスクのメーカーのページ。
http://www.mitani-micro.co.jp/mask/photo2.html#03

三次元LSI技術
http://www.t-microtec.com/category/1409251.html

フォトマスクのサンプルを探したのですが、良いものは見付かりませんでした。
https://www.ipros.jp/product/detail/2000205628?h …
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この回答へのお礼

たくさん資料ありがとうございます!

なるほど、何重にも重ねて複雑な事ができるんですね!

お礼日時:2019/05/10 07:10

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