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私の個人的な考えでは、
超音波アクチュエータとは、超音波をエネルギーとして動作する機構のこと。
超音波モータとは、電圧をエネルギーとして圧力を発生する機構(圧電素子)を利用したモータの一種のこと。
超音波アクチュエータは一般的にはマイクロマシンなどでエネルギーを外部から供給する必要がある場合に、超音波をマイクロマシンに照射し、マイクロマシン内の機構にて動力に変換する。この機構を超音波アクチュエータと言う。
圧電素子(ピエゾ素子)は、先にも記したように電圧により素子が変形する。電圧と変形量の直線性が良いが、大変形させられないのが難点、圧力(駆動力)は大きい。
一般的には微小な位置決め装置の一部に使われたりすることが多い。たとえば、機械の大雑把な位置決めはボールネジで行い、微小な位置決めをピエゾで行う。
大型の凹面鏡の裏側に多数のピエゾを配し、微小な球面補正を行う使い方もある。
超音波モータは、簡単に言えば、ピエゾ素子を櫛歯のように一列に並べ、それぞれの歯先を円運動させ、櫛歯自体をムカデの脚のように動かすことで、そこに接触させた物を動かす。櫛歯が円状に並ぶことで回転モータとなる。簡単な機構で回転トルクが大きいが、ピエゾとの接触面の磨耗対策に特殊な技術が必要で難しい。この超音波モータの基本特許の多くはCANONが取得していたと記憶しています。
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