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シリコンウェハが丸いのなぜですか？ エッチング加工などする際、円周の部分が歩留まりとなりもったいない

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シリコンウェハが丸いのなぜですか？
エッチング加工などする際、円周の部分が歩留まりとなりもったいない気がしますが、製造上難しいのでしょうか？

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

ウェハーは単結晶インゴットをスライスすることにより作製します。

単結晶インゴットは回転させながら作製しますので円筒形になるんですよ。それをスライスするためにどうしても円形になります。

単結晶インゴットを製造する「CZ法」の流れ
https://www.sumcosi.com/products/process/step_01 …
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この回答へのお礼

ありがとうございます。NHK電子立国を見てたのですが、そのような工程がありました。

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お礼日時：2021/08/17 05:21

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