あるウェーハの厚みを計る際、上記の測定器で測る事ができると思いますが、この3つの測定器の違いは何なのでしょうか?使い分けは何を基準にすればよいのでしょうか?

A 回答 (6件)

>この3つの測定器の違いは何なのでしょうか?


>使い分けは何を基準にすればよいのでしょうか?

計測器の選定は、ざっと思い付くだけでも
1.必要な測定精度と範囲
2.測定する頻度
3.測定物の硬度
4.計測を行う環境
といったことを考慮して決めます。

ノギス、マイクロメータには測定物に合わせた様々な機種がありますし、ダイヤルゲージは、測定物に合わせて測定子(測定物と接触する部分)を選定します。

ダイヤルゲージは「比較測定具」と言って、直接に大きさの絶対値を求めることは出来ません。
あらかじめ、わかっている大きさのものを基準として、その基準からプラスいくつ、マイナスいくつ、という具合に計測するものです。

測定精度と範囲:(最も標準的なものの例です)
ノギス 0.05mm 0~150mm
マイクロメータ 0.01mm 0~25mm
ダイヤルゲージ 0.01mm 0~5mm
ダイヤルゲージ 0.002mm 0~1mm

測定する頻度:
たとえば、測定物が大量にあって、順次計測しなければならないような時、1分間当たりに測定出来る個数は、おおむね
ダイヤルゲージ > ノギス > マイクロメータ
という順になります。

測定物の硬度:
ノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージ、いずれも測定物に接触させて測定するのですが、測定物にかかる圧力が異なります。
マイクロメータですとkg単位の力が測定物にかかってしまいますので、ゴムの様な柔らかい材質であれば潰れてしまいますし、脆性材ですと(測定物を)壊してしまうことさえあります。
「あるウェーハ」というのがシリコンウェハーで、最終研磨前の平面度の悪い状態であるならば、マイクロメータでは割れてしまう可能性もあるということです。
標準的なノギス(Mノギス)は、手で測定力を加えますので、測定物が柔らかいものであれば、測定する人の個人差が大いに出たりします。
測定物が柔らかいならば、測定力の比較的小さい「てこ式ダイヤルゲージ」を使うことが多いです。

計測を行う環境:
たとえば周囲温度ですが、計測器の検定は20℃の室内で行うことに決められていますので、20℃以外の環境では正確な測定結果が得られていません。(もちろん、これは程度問題であり、許容される範囲に納まる場合もあります)
40℃を超えるような、人間にとっても過酷な環境で、測定長が100mmを超えるアルミ材質を0.001mm精度で測定しても、その結果は信頼できないのです。
逆に、必要な精度が高ければ、それなりの計測環境を整備しなければならないのです。

ノギス、マイクロメータの機種:
たとえば深さ方向を測りやすい構造をした、デプスノギス、デプスマイクロメータであるとか、2つの穴の距離を測るピッチノギス、歯車の歯を測る歯厚マイクロなどもあります。

ダイヤルゲージの測定子:
標準的には鋼球を埋め込んだ測定子が使われます。
鋼球の大きさにも種類があり、測定物が柔らかいものになるに従って、径の大きなものを用います。
測定物面が円筒面や球面の場合は、平面測定子を用います。

概要的にはこうした感じになります。
今はノギス、マイクロメータ、ダイヤルゲージにもデジタル製品が出来ていて、簡単に数値が出るのですが、その数値(計測値)が正しいのかどうかを判断するためには、逆に専門知識や計測技能が必要となって来ています。
正確な大きさの基準とするもので、「ブロックゲージ」というものがあるのですが、たとえば5.000mmのブロックゲージをデジタルマイクロメータで測定させても、±0.001の範囲で計測出来る検査員は、あまりいないです。

もし、こうした方向で、もう少し突っ込んだ内容をお知りになりたいのであれば、たとえばリンク先のメーカーに一般企業の計測者養成向けの計測学院が有ったりしますので、そちらに問い合わせてみてもよろしいかと思います。(私も学んで来ました)

参考URL:http://www.mitutoyo.co.jp/top.html
    • good
    • 0

今までの回答でほとんど出揃っていますが、追加するとすれば・・



ノギスはデジタル表示のものがでてきており、これだと1/100mmまで測定できます。
しかも、ノギスは厚み(ならびに外径)ばかりでなく、内径、深さなども測定することが出来るということで、多機能な測定に向いています。

測定物を挟む部分は、マイクロメータは円筒型をしておりますが、ノギスは刃型をしており、測定物が平面でなくても測定できます。
    • good
    • 0

ちょっと間違えました



ノギスの測定精度は1/10mm~1/20mmで測定物は1.0mm~200mmくらい

マイクロメータは精度1/100mm程度で測定物は0.01mm~数十mm

ノギスが大きい(といっても20mmくらい)モノ、マイクロメータが小さい・薄いモノの守備範囲です。
    • good
    • 0

厚さの計測でダイヤルゲージを使う人は少ないと思いますが....


通常は、対象物の形状と、計測誤差で使い分けると思います。
ノギスの最小読みは、バーニヤ式で0.05mmですから、それ以上の測定精度を求めるならマイクロメータでしょう。

参考URL:http://www.suekage.co.jp/webmag/vol_3/index.htm
    • good
    • 0

ノギスとマイクロメータは厚さや大きさを測るモノで、



ノギスの測定精度は1/10mm~1/20mmで測定物は1.1mm~200mmくらい

マイクロメータは精度1/100mm程度で測定物は数十mm


ダイヤルゲージは変位を測るモノで精度は1/100、変位の許容値は30mm~40mmただしちゃんとした手順で手動で盛替(付け替え)すればなんぼでも測れます。
    • good
    • 0

ノギスと、マイクロメーターは精度の違いです。

ノギスはせいぜい0.01mm単位、それ以下をマイクロメーターで測定します。

ダイヤルゲージは上記の2つとは違い、厚みと言うよりは、どれだけ基準よりも変化したかというのを図るためのものです。
そのため、基準となる原点が必要となります。

私の場合はそのものの寸法を測る際は、ノギスやダイヤルゲージ、
物体の変化量(反りとかひずみ)などを図る際はダイヤルゲージを使用します。
    • good
    • 0

お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!

このQ&Aを見た人はこんなQ&Aも見ています

このQ&Aを見た人が検索しているワード

このQ&Aと関連する良く見られている質問

Q回路計である電圧を測定したら25[dB]を示した。その電圧は何ボルトか?

回路計である電圧を測定したら25[dB]を示した。その電圧は何ボルトか?
答えは15.5[V]
なので途中式を教えて下さい。

Aベストアンサー

dbは、比率を表すというのは、#1、#2の方々の言われるとおりです。
dbを使い始めた電話の世界では600オームの抵抗に1mWの電力を消費
する物を基準に、dbを使います。(#1の方が言われるようにdbm)
0dbmはV**2=R*Pから基準のVは600*0.001=0.6の
ルートです。つまり、V=0.775ボルトです。

ご質問の15.5Vは丁度20dbに相当します。

問題のミスかあるいは途中経過かとも思われます。

Q被測定箇所にセンサを取り付け、ピックアップで取り出した振動を電圧などに変換して測定する方法を◯◯測定

被測定箇所にセンサを取り付け、ピックアップで取り出した振動を電圧などに変換して測定する方法を◯◯測定法という。
この測定法の名前を教えてください!

Aベストアンサー

「間接測定法」?

「センサ」と「ピックアップ」の関係、測定するものは「振動」なのか何なのか、この文章ではよくわかりませんが。
「振動」を、それと一定の関係にある「電圧」に変換して測定するのであれば、「間接測定」でしょう。

Q間げき率40%、土粒子の密度2.60g/cm³の土がある。この土の乾燥密度はいくらか。 上記の問題の

間げき率40%、土粒子の密度2.60g/cm³の土がある。この土の乾燥密度はいくらか。

上記の問題の計算式を教えていただける方がいらっしゃれば幸いです。どうがよろしくお願い致します。

Aベストアンサー

間げき率=土粒子体積/全体積=0.4・・・①
土粒子密度=土粒子質量/土粒子体積=2.6・・・②
乾燥密度=土粒子質量/全体積

①×②=(土粒子体積/全体積)×(土粒子質量/土粒子体積)=
(土粒子体積/土粒子体積)×(土粒子質量/全体積)=土粒子質量/全体積=
乾燥密度

乾燥密度=①×②=0.4×2.6=1.04g/cm³

Q直流型電位差計での被測定電池の内部抵抗

直流型電位差計で電池の電圧を測定するにあたり、
電池・蓄電池の内部抵抗の大きさ、および内部抵抗の変化は測定に影響するのでしょうか?

Aベストアンサー

<内部抵抗の大きさ、および内部抵抗の変化は測定に影響するのでしょうか?

全く影響しません。
電位差計で電池の起電力を測定する場合、電流ゼロになる条件が平衡条件ですから被測定電池の内部抵抗の影響を全く受けず、真の内部起電力が測定できます。

Q発光ダイオードが逆電圧でも電圧計で測定されたこと

簡単な実験だったたのですが、5vの電源に発光ダイオードと抵抗をそれぞれ順方向、逆方向(ダイオード)につないだときの電圧と電流を調べる実験だったのですが、順方向は結果は出たのですが、逆方向は電圧も電流も測定されないと思っていたのですが、電圧だけ5v測定出てしまいました。色々考えたのですが、答えになってないので、すみませんが教えていただけないでしょうか?

Aベストアンサー

順方向のとき
発光ダイオードの抵抗は、ほぼ0なので両端の電圧IR=0となり、
抵抗の両端の電圧はIR=5Vとなります。

逆方向のときは、
発光ダイオードの抵抗は、ほぼ無限大になり両端の電圧は5Vとなり
抵抗の両端の電圧は0Vとなります。


このQ&Aを見た人がよく見るQ&A

人気Q&Aランキング

おすすめ情報