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RFプラズマというものを半導体分野から聞きますが、
RFはなんの略語で、何を意味するものでしょうか。次にRFプラズマに関しても説明してください。
よろしくお願いします。

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A 回答 (1件)

Radio Frequency で高周波のことですね。


電子レンジ的世界で13.56MHz等の高周波で物質をイオン化プラズマ状態にする装置かと思います。
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この回答へのお礼

ご説明ありがとうございます。
これからもよろしくお願いします。

お礼日時:2002/02/22 11:17

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